煙氣在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的分析系統(tǒng)在檢測(cè)標(biāo)定時(shí)一般分為系統(tǒng)內(nèi)標(biāo)及外標(biāo)。內(nèi)標(biāo)主要測(cè)定分析儀器的測(cè)量誤差，外標(biāo)要求從取樣探頭處通入標(biāo)氣進(jìn)行系統(tǒng)標(biāo)定；也可采用規(guī)定參比方法標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行在線比對(duì)檢測(cè)。

系統(tǒng)內(nèi)標(biāo)是從分析儀的進(jìn)氣口注入標(biāo)準(zhǔn)氣體并記錄儀器的響應(yīng)。通過(guò)內(nèi)標(biāo)檢測(cè)評(píng)價(jià)分析儀的穩(wěn)定性、儀器的零點(diǎn)和上標(biāo)校準(zhǔn)點(diǎn)漂移的程度。

系統(tǒng)外標(biāo)是盡可能從靠近采樣系統(tǒng)探頭頂端的位置注入標(biāo)準(zhǔn)氣體。系統(tǒng)外標(biāo)既能夠表明樣品調(diào)節(jié)系統(tǒng)的效率和輸送到分析儀的分析物的情況，又能都檢查儀器性能。

如果以上兩種方法測(cè)量相同濃度的同種分析物，結(jié)果之間存在著較大的差異，則表明整個(gè)煙氣在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)可能存在泄露或由于分析物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)或物理變化造成了損失。如果是非標(biāo)準(zhǔn)污染物，最常見的是由于吸附和冷凝造成的損失。系統(tǒng)外標(biāo)也可以確定過(guò)濾器是否吸附分析物。吸附或冷凝化合物的揮發(fā)能夠引起正的測(cè)量誤差。

有的煙氣在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)由儀器的響應(yīng)與其他方法比對(duì)獲得相關(guān)系數(shù)。在比對(duì)前首先設(shè)置和檢測(cè)內(nèi)部的儀器參數(shù)，確定儀器函數(shù)，并進(jìn)行初始的校準(zhǔn)。然后與參比方法比較，建立儀器響應(yīng)與參比方法測(cè)定濃度的相互關(guān)系。

對(duì)需要用參考光譜進(jìn)行校準(zhǔn)的煙氣在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)也需要定期地檢查校準(zhǔn)狀況，才能保證獲得的參考光譜(光譜庫(kù)中的光譜)與采樣并分析樣品時(shí)獲得的光譜之間正確的校準(zhǔn)傳遞。